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李向阳话音落下,大屏幕上切换成一段视频。
画面里,是一个洁净度极高的无尘车间,几个穿着白色防尘服的工程师在巨大设备前忙碌着。
那设备三层楼高,银白色的机身上布满密密麻麻的管线。
最核心的部位被保护罩罩着,隐约能看见里面的复杂结构。
而设备的铭牌上,刻着两个汉字——烛龙。
“这是讯芯旗下的基石公司,历时十年研的‘烛龙’系列arf浸没式光刻机。”
“它已经在我们的实验线上,成功流片了纳米制程的‘玄武’芯片芯片关键精度达到国际顶尖水平,并且具备向纳米延伸的能力。”
视频继续播放。
“烛龙”的指示灯依次亮起,机械臂开始精确移动,每一次定位都精准到微米级别。
透过观察窗,可以看见硅片在平台上缓缓移动。
四十分钟后,第一批曝光的硅片被机械手取出,送入检测台。
这时,画面切换到显微镜视角。
硅片上的图案被放大千倍,随后投射到大屏幕上——线条清晰,边缘整齐,线宽测量数据稳定显示在到纳米区间。
会场里,出现长达十秒的死寂。
然后,记者们从座位上跳起来,拼命往前挤,相机快门声连成一片。
后排的人踮着脚伸长脖子,生怕错过任何一个画面。
会场后方,几家国际芯片巨头代表坐在那里,脸色苍白如无常。
有个人掏出手机,按了半天才按对号码。
“这不可能!”
一个外国记者喊出来。
“中国怎么可能做出这种级别的光刻机?”
李向阳看向那个方向:
“在半导体领域,没有什么是不可能。”
“讯芯愿意开放技术合作,与国内产业链伙伴一起,构建不受制于人的制造体系当然,我们依然欢迎与国际伙伴的良性竞争与合作。”
“但合作的前提,是平等和尊重用产能卡脖子、用审查拖时间的游戏,可以结束了!”
话音落下,全场沸腾!
掌声从四面八方响起,像潮水一样一波接一波。
到了提问环节,场面彻底失控。
“李董,烛龙的性能参数到底如何?能否与阿斯麦的nxe系列相比?”
一个男记者举着话筒挤到最前面。
“讯芯打算如何商业化这台设备?会对外销售吗?”
另一个女记者喊道。
“讯芯打算自己建晶圆厂吗?后续产能怎么规划?”
“李董!看这边!”
问题像潮水一样涌过来,根本听不清谁在问什么。
李向阳抬起手,往下压了压。
等现场稍微安静一些,他才继续开口:
“‘烛龙’的台量产机,已经在实验线投产它的分辨率达到纳米,可以稳定量产纳米芯片,并且有向纳米延伸的能力。”
“至于和asl比——”
李向阳顿了顿:
“asl的nxe系列是极紫外光刻,那是我们追赶的下一代技术,但在arf浸没式这个领域,‘烛龙’已经达到国际顶尖水平!”
随后,他目光扫过台下那些外国记者:
“至于关键部件——我可以负责任地告诉大家,‘烛龙’光刻机的光学系统、激光光源、工作台、控制系统全部是讯芯自主研、自主制造,我们拥有百分之百的知识产权。”
此话一出,会场又是一片哗然。
“至于销售……”
李向阳笑了笑:
“‘烛龙’目前不对外销售,但如果有需要,讯芯愿意在平等互利的基础上开展广泛合作。”
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